8번부터 14번까지 문제풀이를 해주셨습니다. 8번에 2번 보기를 풀 때 75/90이 정확히 몇 퍼센트인지 계산하지 않고 분모를 100에 가까운 99로 만듦으로써 75의 10%를 더해 답을 구할 수 있었습니다.
9번의 a를 해결할때에 문제에 평균이 들어갔다고 해서 무조건 계산이 복잡해지는 것이 아니라 평균의 비교는 단순히 총합 비교로 이어질 수 있다는 것을 배웠습니다.
10번의 5번 보기를 풀 때 ~만큼 많다인지 적다인지 확인해야 정확한 값을 계산하지 않고도 풀 수 있었습니다.
11번의 5번 보기와 같은 경우에 분자가 분모보다 훨씬 크기 때문에 계산하지 않아도 대소를 비교할 수 있습니다.
14번처럼 증감추이 보기를 먼저 해결함으로써 답을 찾을 수 있는 문제가 나올 수 있다는 것을 배웠습니다.
김동민 선생님의 포토리소그래피 공정 세부내용 강의를 들었습니다.
포토리소그래피는 1. PR 코팅 2. Soft 베이킹 3. Mask align 4. 노광 5. P.E baking 6. Developing 7. Hard baking 순서로 진행하게 됩니다.
PhotoResist는 wafer와의 접착성, etching 저항성, 적당한 점도 가 중요합니다.
soft 베이킹은 pr에 포함된 solvent를 제거하고, 원심력에 의한 stress를 제거해줍니다.
exposure에서 중요한 인자는 높은 DOF 와 작은 RES입니다. 근접노광의 단점을 극복하기 위해 투영방법을 사용합니다.
미세한 공정을 위한 핵심으로 Immersion, OAI, OPC, PSM, 멀티 패터닝 등 RET를 사용하게됩니다.
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