1. [GSAT] ¼ö¸®³í¸® ½ÇÀü¸ðÀÇ°í»ç 1ȸ(1)
- º¹ÀâÇÑ °è»êÀº ½Ä º¯Çü(ÂÉ°³±â)Çؼ Ç®¾îº¸ÀÚ
- ±¸ÇؾßÇÏ´Â °ªÀ» Àû¾î³õ°í ÁÖ¾îÁø °ªµéÀ» ÀÌ¿ëÇØ ¸¸µé ¼ö ÀÖ´ÂÁö º¸±â
- Àڷắȯ ¹®Á¦´Â °è»êÀÌ °£´ÜÇÏ´Ù¸é ÇÏ°í ÀбâÇü(Áõ°¨, ¼øÀ§)À¸·Î ¸ÕÀú Ǭ´Ù
💡 ÁÖ¾îÁø ÀÚ·á ¹Ø¿¡ °¢ÁÖµµ Àß Ã¼Å©ÇؾßÇÔÀ» ´À³¦.
2. [¹ÝµµÃ¼] ¹ÝµµÃ¼ 8´ë °øÁ¤°ú 3´ë ÁÖ¿ä °øÁ¤ÀÇ °³¿ä
SELF ASSESSMENT : ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Àü¹Ý¿¡ ´ëÇØ ¼³¸íÇϽÿÀ.
¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤Àº Å©°Ô 8´ë °øÁ¤À¸·Î ³ª´ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
(Wafer - »êÈ - Æ÷Åä - ¿¡Äª - ¹Ú¸· ÁõÂø ¹× ÀÌ¿ÂÁÖÀÔ - ±Ý¼Ó¹è¼± - EDS - ÆÐŰ¡)
¸ÕÀú, czochralski ¹æ¹ý ¶Ç´Â floating zone ¹æ¹ýÀ¸·Î ¸¸µç ingotÀ» À߶ó wafer¸¦ ¸¸µì´Ï´Ù.
ÀÌÈÄ Wafer Ç¥¸éÀ» »êȽÃÄÑ SiO2ÀÇ »êȸ·À» ¸¸µì´Ï´Ù. ÀÌ ¶§, »êȹæ¹ý¿¡´Â Thermal Oxidation, CVD, PVD µîÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù.
´ÙÀ½Àº Æ÷Åä°øÁ¤À¸·Î, Wafer Ç¥¸é¿¡ PRÀ» µµÆ÷ÈÄ Æ÷Å丶½ºÅ©¸¦ °ÉÃÄ ³ë±¤ ÈÄ Çö»ó ´Ü°è¸¦ °ÅÃÄ ÆÐÅÏÀ» Çü¼º½Ãŵ´Ï´Ù.
¿¡Äª°øÁ¤¿¡¼´Â PRÀÌ µµÆ÷µÇÁö ¾ÊÀº ºÎºÐÀ» ½À½Ä ¶Ç´Â °Ç½Ä ½Ä°¢ ½ÃÄÑ ±âÆÇÀÇ ºÒÇÊ¿äÇÑ ºÎºÐÀ» Á¦°ÅÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ ¶§ ¿¡ÄªÀÇ ÁÖ¿ä ÀÎÀÚ·Î Uniformity, etch rate, etch selectivity°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù.
¿¡Äª °øÁ¤ ÈÄ ¹Ú¸·À» CVD, PVD¸¦ ÅëÇØ ÁõÂø½Ãŵ´Ï´Ù. ¿¡Äª °øÁ¤ÀÇ ÁÖ¿ä ÀÎÀڷδ ÈÇÐÀû, Àü±âÀû, ±â°èÀû Ư¼º, ±×¸®°í ¹Ú¸· µÎ²²ÀÇ ±ÕÀϵµ µîÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÀÌÈÄ¿¡´Â ¹ÝµµÃ¼¿¡ Àü±âÀüµµµµ¸¦ ÁÖ±â À§ÇØ ºÒ¼ø¹°, Áï ÀÌ¿ÂÀ» ÁÖÀÔ½ÃÅ°°í ±Ý¼Ó ¹è¼±À» ±ò¾ÆÁÝ´Ï´Ù.
¸¶Áö¸·À¸·Î EDS¸¦ °ÅÃÄ ¼ö¸®°¡ °¡´ÉÇÑ ºÎºÐÀº ¾çÇ°À¸·Î ¸¸µé°í ºÒ°¡´ÉÇÑ ºÎºÐÀº ºÒ·® ÆÇÀüÀ» ÇÑ µÚ ÆÐŰ¡À» °ÅÃÄ ¹ÝµµÃ¼¸¦ ÃÖÁ¾ÀûÀ¸·Î ¿Ï¼ºÇÏ°Ô µË´Ï´Ù.
✍️ ¸éÁ¢ Áú¹® ±âÃâ : ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Á¤¹Ý¿¡ ´ëÇÑ ¼³¸í , yield °³¼± ½Ãų ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¹ý