¿­±â Æйи®»çÀÌÆ®

[7ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT+¹ÝµµÃ¼ Á÷¹« °­ÀÇ·Î ÀÎÀû¼ººÎÅÍ ¸éÁ¢±îÁö Çѹø¿¡ ÁغñÇÏÀÚ

| Á¶È¸ 4934 |

ÇØÄ¿½ºÀ⠾縮¶ó½Ü GSAT ¼ö¸®³í¸® ÆÄÆ®¿Í µ¿¹Î½Ü ¹ÝµµÃ¼ Á÷¹« °­ÀÇ·Î ½ºÅ͵ð 7ÀÏÂ÷~

¾Æħ¿¡ °¡Àå ¸ÕÀú ¾ç¸®¶ó½Ü GSAT ¼ö¸®³í¸® ÆÄÆ® ¸ð°í2ȸ µÎ¹ø° °­ÀǺÎÅÍ ¼ö°­Çß½À´Ï´Ù.

¾îÁ¦ Àú³á¿¡ ù¹ø° °­ÀǸ¦ ¼ö°­ÇÏ°í Àáµé¾î¼­ ¹Ù·Î µÎ¹ø° °­ÀǸ¦ ¼ö°­Çß½À´Ï´Ù.


¾ç¸®¶ó½Ü Áö³­ÁÖ °­ÀÇ¿¡¼­ ½¬¿î º¸±âºÎÅÍ Ç®°í ³Ñ¾î°¡¶ó´Â ÆÁÀÌ

2ȸÂ÷¿¡ ½Ã°£ ³» Ǫ´Â ¹®Á¦¸¦ ¸¹ÀÌ ´Ã·ÁÁÖ¾ú´ø °Í °°½À´Ï´Ù.

½ÇÁ¦·Î 14¹ø °°Àº °æ¿ì´Â ½¬¿î º¸±âºÎÅÍ Ç®¾î¼­ ½±°Ô Ç®°í ³Ñ¾î°¥ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.

°­ÀǸ¦ µéÀ¸¸é¼­ Áö³­ÁÖ¿¡ ºñÇØ ³»°¡ À̹øÁÖ´Â À̰Ÿ¦ Àû¿ëÇß°í ¾î¶² °ÍÀ» Àû¿ëÇÏÁö ¸øÇß´ÂÁö

½Ü°ú °°ÀÌ È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ÁÁ¾Ò´ø °Í °°½À´Ï´Ù.


Á¤È®ÇÑ Æò±Õ°ªÀ» ¿ä±¸ÇÏÁö ¾Ê´Â ¹®Á¦´Â

->ÃÑÇÕ¸¸ ±¸Çϰųª

->°¡ÁßÆò±ÕÀ¸·Î ºü¸£°Ô Æò±ÕÀ» ±¸ÇÏ°í ³Ñ¾î°¡°Å³ª

´ÙÀ½ ¸ðÀÇ°í»ç¸¦ Ç®¶§´Â ²À Àû¿ëÇÏ·Á ÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

´ÙÀ½À¸·Î ¹Ù·Î µ¿¹Î½Ü ¹ÝµµÃ¼ °­ÀǸ¦ ¼ö°­Çß½À´Ï´Ù.

¾îÁ¦´Â ÀüüÀûÀÎ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ ´ëÇØ ¹è¿ï ¼ö ÀÖ¾ú´Ù¸é

¿À´ÃÀº °øÁ¤ Áß¿¡ Áß¿äÇß´ø Æ÷Åä°øÁ¤¿¡ ´ëÇؼ­¸¸ ´õ ½ÉÈ­ÀûÀ¸·Î ÁغñÇغ¸´Â ½Ã°£À» °¡Á³½À´Ï´Ù.


Àú´Â Æ÷ÅäÀåºñ ȸ»ç ¸àÅ丵À» Âü¿©Çß´ø °æÇèÀÌ ÀÖ¾î

ÀÚ¼Ò¼­¿¡ Æ÷Åä °øÁ¤ °æÇè, Àåºñ ¸àÅ丵 °æÇèÀ» »ì·Á ÀÚ¼Ò¼­¸¦ ÀÛ¼ºÇß¾ú´Âµ¥

À̹ø °­ÀǸ¦ ÅëÇØ ¸éÁ¢ Áغñµµ źźÇÏ°Ô ÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´ø °Í °°¾Æ ÁÁ¾Ò½À´Ï´Ù.

ÀÚ¼Ò¼­ ±â¹Ý Áú¹®ÀÌ µé¾î¿Íµµ ´çȲÇÏÁö ¾Ê°í ´äº¯ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï µ¿¹Î ½Ü °­ÀÇ ³»¿ë°ú ´õºÒ¾î ÀüüÀûÀÎ Æ÷Åä °øÁ¤ ³»¿ëÀ» Á¤¸®ÇÒ °èȹÀÔ´Ï´Ù.

µ¿¹Î½Ü °­ÀÇ´Â ¸éÁ¢ÀÌ ±ÞÇÑ »ç¶÷¿¡°Ôµµ ±×¸®°í Â÷±ÙÂ÷±Ù ¹è¿ì±â¸¦ ¿øÇÏ´Â »ç¶÷¿¡°Ôµµ ¸ðµÎ µµ¿òÀÌ µÇ´Â

°­ÀÇÀÎ °Í °°¾Æ °¡Àå ¸¹Àº °ÍÀ» ¹è¿ö°¡´Â °Í °°½À´Ï´Ù.


½ÇÁ¦ »ï¼º¿¡¼­µµ ¸ÖƼ ÆÐÅÍ´× ¹æ½ÄÀ¸·Î LELE¿Í sidewall spacer °øÁ¤À» »ç¿ëÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

Æ÷Åä °øÁ¤ ¼³¸í¿¡¼­ ³¡³ªÁö ¾Ê°í ²¿¸®Áú¹®¿¡ ´ëºñÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °­ÀǶó ´õ¿í µµ¿òÀÌ µÇ¾ú½À´Ï´Ù.

ex) Æ÷Åä °øÁ¤¿¡¼­ ¹ß»ýÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹®Á¦Á¡Àº ¹«¾ùÀÌ¸ç ±× ¹®Á¦Á¡À» ÇØ°áÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¹ýµµ ¾Ë·ÁÁÖ¼¼¿ä.

¶ó´Â Áú¹®¿¡ ÃæºÐÈ÷ ¿À´Ã

Æ÷Åä °øÁ¤¿¡¼­ ¾î¶² À̽´°¡ ¹ß»ýÇÒ ¼ö ÀÖ´ÂÁö¸¦ ¹è¿ü°í

ÇØ°áÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¹ý °³¼±ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¹ý

-> Multi-patterning(LELE, LFLE, Sidewall spacer) & Immersion ±â¼ú & °øÁ¤ factor Çâ»ó (OAI, OPC, PSM)

¶ÇÇÑ ¹è¿ï ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.

´Ùµé 2ÁÖÂ÷µµ Èû³»¸é¼­ Ãë»Ç±îÁö ´Ùµé ´Þ¸®ÀÚ±¸¿ä~


¡Ø ÇØÄ¿½ºÀâÀ¸·ÎºÎÅÍ Àΰ­À» Á¦°ø¹Þ¾Æ ÀÛ¼ºµÈ ÈıâÀÔ´Ï´Ù. ¡Ø ÇØ´ç Èıâ´Â ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT+¹ÝµµÃ¼ ºý¼¾½ºÅ͵𸦠ÅëÇØ ¼öÁýµÈ ÈıâÀÔ´Ï´Ù.

ÇØ´ç °Ô½Ã±ÛÀÇ ÀúÀÛ±ÇÀº ÀÛ¼ºÀÚ¿Í ÇØÄ¿½º°ø±â¾÷ »çÀÌÆ®¿¡ ÀÖÀ¸¸ç, ÇØÄ¿½º°ø±â¾÷¿¡¼­ Á¦ÀÛÇÏ´Â ÀÚ·á µî¿¡ È°¿ë µÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ¹«´Ü µµ¿ë ¹× ÆÛ°¡±â¸¦ ±ÝÁöÇÕ´Ï´Ù.
±Û¾²±â
¼ö°­Èıâ
¼±»ý´Ô Á¦¸ñ °­ÀǸ¸Á·µµ Á¶È¸¼ö
[NCS] ¾Ë¾Æº¸ÀÚ, NCS Ãʺ¸ÀÚÀÇ 'NCS ÀÇ»ç¼ÒÅë' ÁýÁß °ø·« ¹æ¹ý! - #3 ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4543
[ÇÕ°ÝÈıâ] Çѱ¹ÁÖÅñÝÀ¶°ø»ç ÃÖÁ¾ÇÕ°Ý Èıâ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 6233
[NCS] NCS 1µµ ¸ð¸£´Â Ãʺ¸ÀÇ NCS ÀÇ»ç¼ÒÅë Àΰ­ Èıâ(3) º°Á¡ 5102
[NCS] NCS ÀÇ»ç¼ÒÅë ÈĹÝÀü ½ÃÀÛ! °ø±â¾÷ ä¿ëÁغñ ~ing ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4986
[NCS] °ø±â¾÷ ÇÊÇÕ! NCS ÀÇ»ç¼ÒÅë´É·Â 30ÀϾȿ¡ Á¤º¹Çϱâ - 2ÁÖÂ÷ Èıâ! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4945
À±Á¾Çõ,ÃÖ¼öÁö [NCS] ±ÝÀ¶ÃëÁØ»ý NCS ÀÇ»ç¼ÒÅë ÁýÁß °ø·« ! ¿Ïº® Á¤º¹ (3ÁÖÂ÷) º°Á¡ 5487
[NCS] °ø±â¾÷ ÃëÁØ ´ëºñ ¼ö¸®´É·Â NCS ±³Àç Ãßõ!!!! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 5854
[NCS] NCS ¼ö¸®´É·Â Á¦´ë·Î °øºÎÇÏ°í °è½Å°¡¿ä!? ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4578
[NCS] NCS Àΰ­°ú ±³Àç Ãßõ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4899
[NCS] °ø±â¾÷ Ãë¾÷Áغñ NCS¼ö¸®´É·Â ¸ÕÀú °øºÎÇÏÀÚ!! º°Á¡ 4739
[NCS] ÇǵâÇü ÇǼÂÇü NCS ¼ö¸® °øºÎÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù º°Á¡ 4520
[NCS] °ø±â¾÷ Ãë¾÷ Áغñ»ýÀÇ NCS±³Àç¿Í Àΰ­ Èı⠺°Á¡ 5147
[NCS] NCS ¼ö¸®´É·Â ÀÌ Ã¥ Çϳª·Î ³¡³»ÀÚ! º°Á¡ 4420
[NCS] ¼ö¸®Àڷ῵¿ªNCS ´ëºñ ¹®Á¦Áý Ãßõ! º°Á¡ 4883
[ÀÎÀû¼º] [10ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT+µ¿¹Î½Ü ¹ÝµµÃ¼ Á÷¹« °­ÀÇ·Î ¸éÁ¢ Áغñ±îÁö º°Á¡ 4791
[ÀÎÀû¼º] [9ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT+µ¿¹Î½Ü ¹ÝµµÃ¼ °­ÀÇ·Î ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Á÷¹« ¸éÁ¢ ÁغñÇϱ⠺°Á¡ 5732
[ÀÎÀû¼º] [8ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT+¹ÝµµÃ¼ Á÷¹« °­ÀÇ·Î ¸éÁ¢ ´ëºñ±îÁö ÇÏ°í Ãë»ÇÇϱâ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4233
[ÀÎÀû¼º] [7ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT+¹ÝµµÃ¼ Á÷¹« °­ÀÇ·Î ÀÎÀû¼ººÎÅÍ ¸éÁ¢±îÁö Çѹø¿¡ ÁغñÇÏÀÚ º°Á¡ 4935
[ÀÎÀû¼º] [6ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ µ¿¹Î½Ü ¹ÝµµÃ¼ °­ÀÇ·Î Á÷¹«¸éÁ¢ ÁغñÇÏ°í Ãë»ÇÇÏÀÚ & ÇØÄ¿½ºÀâ Áú¹® °Ô½ÃÆÇ 100% È°¿ëÇϱ⠺°Á¡ 4436
[ÀÎÀû¼º] [5ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ µ¿¹Î½Ü ¹ÝµµÃ¼ °­ÀÇ·Î »ï¼º ¸éÁ¢ ÁغñÇÏ°í Ãë»ÇÇÏÀÚ º°Á¡ 4497