ÇØÄ¿½ºÀ⠾縮¶ó½Ü GSAT ¼ö¸®³í¸® ÆÄÆ®¿Í µ¿¹Î½Ü ¹ÝµµÃ¼ Á÷¹« °ÀÇ·Î ½ºÅ͵ð 7ÀÏÂ÷~
¾Æħ¿¡ °¡Àå ¸ÕÀú ¾ç¸®¶ó½Ü GSAT ¼ö¸®³í¸® ÆÄÆ® ¸ð°í2ȸ µÎ¹ø° °ÀǺÎÅÍ ¼ö°Çß½À´Ï´Ù.
¾îÁ¦ Àú³á¿¡ ù¹ø° °ÀǸ¦ ¼ö°ÇÏ°í Àáµé¾î¼ ¹Ù·Î µÎ¹ø° °ÀǸ¦ ¼ö°Çß½À´Ï´Ù.
2ȸÂ÷¿¡ ½Ã°£ ³» Ǫ´Â ¹®Á¦¸¦ ¸¹ÀÌ ´Ã·ÁÁÖ¾ú´ø °Í °°½À´Ï´Ù.
½ÇÁ¦·Î 14¹ø °°Àº °æ¿ì´Â ½¬¿î º¸±âºÎÅÍ Ç®¾î¼ ½±°Ô Ç®°í ³Ñ¾î°¥ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
°ÀǸ¦ µéÀ¸¸é¼ Áö³ÁÖ¿¡ ºñÇØ ³»°¡ À̹øÁÖ´Â À̰Ÿ¦ Àû¿ëÇß°í ¾î¶² °ÍÀ» Àû¿ëÇÏÁö ¸øÇß´ÂÁö
½Ü°ú °°ÀÌ È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ÁÁ¾Ò´ø °Í °°½À´Ï´Ù.
Á¤È®ÇÑ Æò±Õ°ªÀ» ¿ä±¸ÇÏÁö ¾Ê´Â ¹®Á¦´Â
->ÃÑÇÕ¸¸ ±¸Çϰųª
->°¡ÁßÆò±ÕÀ¸·Î ºü¸£°Ô Æò±ÕÀ» ±¸ÇÏ°í ³Ñ¾î°¡°Å³ª
´ÙÀ½ ¸ðÀÇ°í»ç¸¦ Ç®¶§´Â ²À Àû¿ëÇÏ·Á ÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
´ÙÀ½À¸·Î ¹Ù·Î µ¿¹Î½Ü ¹ÝµµÃ¼ °ÀǸ¦ ¼ö°Çß½À´Ï´Ù.
¾îÁ¦´Â ÀüüÀûÀÎ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ ´ëÇØ ¹è¿ï ¼ö ÀÖ¾ú´Ù¸é
¿À´ÃÀº °øÁ¤ Áß¿¡ Áß¿äÇß´ø Æ÷Åä°øÁ¤¿¡ ´ëÇؼ¸¸ ´õ ½ÉÈÀûÀ¸·Î ÁغñÇغ¸´Â ½Ã°£À» °¡Á³½À´Ï´Ù.
Àú´Â Æ÷ÅäÀåºñ ȸ»ç ¸àÅ丵À» Âü¿©Çß´ø °æÇèÀÌ ÀÖ¾î
ÀÚ¼Ò¼¿¡ Æ÷Åä °øÁ¤ °æÇè, Àåºñ ¸àÅ丵 °æÇèÀ» »ì·Á ÀÚ¼Ò¼¸¦ ÀÛ¼ºÇß¾ú´Âµ¥
À̹ø °ÀǸ¦ ÅëÇØ ¸éÁ¢ Áغñµµ źźÇÏ°Ô ÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´ø °Í °°¾Æ ÁÁ¾Ò½À´Ï´Ù.
ÀÚ¼Ò¼ ±â¹Ý Áú¹®ÀÌ µé¾î¿Íµµ ´çȲÇÏÁö ¾Ê°í ´äº¯ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï µ¿¹Î ½Ü °ÀÇ ³»¿ë°ú ´õºÒ¾î ÀüüÀûÀÎ Æ÷Åä °øÁ¤ ³»¿ëÀ» Á¤¸®ÇÒ °èȹÀÔ´Ï´Ù.
µ¿¹Î½Ü °ÀÇ´Â ¸éÁ¢ÀÌ ±ÞÇÑ »ç¶÷¿¡°Ôµµ ±×¸®°í Â÷±ÙÂ÷±Ù ¹è¿ì±â¸¦ ¿øÇÏ´Â »ç¶÷¿¡°Ôµµ ¸ðµÎ µµ¿òÀÌ µÇ´Â
°ÀÇÀÎ °Í °°¾Æ °¡Àå ¸¹Àº °ÍÀ» ¹è¿ö°¡´Â °Í °°½À´Ï´Ù.
½ÇÁ¦ »ï¼º¿¡¼µµ ¸ÖƼ ÆÐÅÍ´× ¹æ½ÄÀ¸·Î LELE¿Í sidewall spacer °øÁ¤À» »ç¿ëÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
Æ÷Åä °øÁ¤ ¼³¸í¿¡¼ ³¡³ªÁö ¾Ê°í ²¿¸®Áú¹®¿¡ ´ëºñÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °ÀǶó ´õ¿í µµ¿òÀÌ µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
ex) Æ÷Åä °øÁ¤¿¡¼ ¹ß»ýÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹®Á¦Á¡Àº ¹«¾ùÀÌ¸ç ±× ¹®Á¦Á¡À» ÇØ°áÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¹ýµµ ¾Ë·ÁÁÖ¼¼¿ä.
¶ó´Â Áú¹®¿¡ ÃæºÐÈ÷ ¿À´Ã
Æ÷Åä °øÁ¤¿¡¼ ¾î¶² À̽´°¡ ¹ß»ýÇÒ ¼ö ÀÖ´ÂÁö¸¦ ¹è¿ü°í
ÇØ°áÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¹ý °³¼±ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¹ý
-> Multi-patterning(LELE, LFLE, Sidewall spacer) & Immersion ±â¼ú & °øÁ¤ factor Çâ»ó (OAI, OPC, PSM)
¶ÇÇÑ ¹è¿ï ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
´Ùµé 2ÁÖÂ÷µµ Èû³»¸é¼ Ãë»Ç±îÁö ´Ùµé ´Þ¸®ÀÚ±¸¿ä~
¡Ø ÇØÄ¿½ºÀâÀ¸·ÎºÎÅÍ ÀΰÀ» Á¦°ø¹Þ¾Æ ÀÛ¼ºµÈ ÈıâÀÔ´Ï´Ù. ¡Ø ÇØ´ç Èıâ´Â ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT+¹ÝµµÃ¼ ºý¼¾½ºÅ͵𸦠ÅëÇØ ¼öÁýµÈ ÈıâÀÔ´Ï´Ù.