8ÀÏÂ÷ ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ Á÷¹« °ÀÇ
8ÀÏÂ÷µµ µ¿¹Î½Ü ¹ÝµµÃ¼ °ÀÇ·Î ½ÃÀÛÇß½À´Ï´Ù.
8ÀÏÂ÷ ¹ÝµµÃ¼ °ÀÇ´Â deposition °øÁ¤¿¡ °ü·ÃµÈ ³»¿ëÀÌ¿´½À´Ï´Ù.
depoition ¹æ¹ý¿¡ µû¶ó Å©°Ô PVD ¿Í CVD·Î ³ª´©¾î ¼¼ºÎÀûÀÎ ³»¿ëµéµµ ÀüºÎ Á¤¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
Àú´Â ALD¸¦ Á¦¿ÜÇÏ°í ³ª¸ÓÁö deposition °øÁ¤µé¿¡ ´ëÇؼ´Â
¹æ¹ý·ÐÀûÀÎ ³»¿ëµéÀ» Àß ¸ô¶ú¾ú´Âµ¥
³ª¸ÓÁö cvd ¿¡ ´ëÇؼµµ °£·«ÇÏ°Ô Á¤¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ½Ã°£À» °¡Áú ¼ö ÀÖ¾ú´ø °Í °°½À´Ï´Ù.
¼Óµµ Ãø¸é¿¡¼ LPCVD>PECVD>APCVD ¼øÀ¸·Î ºü¸¥ ¼Óµµ¸¦ °¡Áö°í
Ç°ÁúÀÇ °æ¿ì APCVD>PECVD>LPCVD ¼ø¼·Î ÁÁÀº Ç°ÁúÀ» °¡Áö´Â °ÍÀ»
°¢°¢ 1°³ÀÇ ºÐÀÚ°¡ ¹Ú¸·À¸·Î º¯ÇÏ´Â ¼Óµµ ±×·¡ÇÁ¸¦ º¸¸ç È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
¶Ç óÀ½ µé¾îº» HDPCVD´Â deposition°ú sputtering À» ¹Ýº¹ÇÏ´Â ¹Ú¸· Çü¼º ¹æ¹ýÀ¸·Î
³ôÀº Ç°ÁúÀ» °¡Áú ¼ö ÀÖÁö¸¸ ¸Å¿ì ´À¸° ¼Ó·ÂÀ» °¡Áø´Ù´Â °ÍÀ» ¹è¿ü½À´Ï´Ù.
¾ç¸®¶ó ½ÜÀÇ ¸¶Áö¸· ¼ö¸®³í¸® ÆÄÆ® Çؼ³°ÀǸ¦ µé¾ú½À´Ï´Ù.
Áö³ ÁÖ ¼Ò¿ø½Ü Ư°¿¡¼ ¹è¿ü´ø 'ºÐ¸ð ºÐÀÚ Áõ°¡À² ºñ±³ ¹æ¹ý/ºÐ¸ð ºÐÀÚ Â÷ÀÌ ºñ±³ ¹æ¹ý'À»
½ÇÁ¦·Î Àû¿ëÇß¾ú°í ¸®¶ó½Üµµ Çؼ³°ÀÇ¿¡¼ Àû¿ëÇÏ¿© Ǫ´Â °ÍÀ» º¸¿©ÁÖ¾î ¿¬½ÀÇϴµ¥ µµ¿òÀÌ µÇ¾ú´ø °Í °°½À´Ï´Ù.
¶Ç 19,20 ¹ø °°Àº °æ¿ì Çؼ³À» Ä£ÀýÇÏ°Ô ÇØÁ̴ּµ¥
´õ ¾î·Á¿î ¼ö¿À̳ª ¼ö¿Ã߸®°¡ ³ª¿Ã¼öµµ ÀÖÀ¸´Ï ¿©·¯ ¹®Á¦ À¯ÇüÀ» ¿¬½ÀÇغ¸¶ó°í ÇØÁּ̽À´Ï´Ù.
½ÇÁ¦·Î GSAT ´Â ½ÃÇè¿¡¼ ´çȲÇÏÁö ¾Ê±â À§ÇØ ¿©·¯ ¹®Á¦ À¯ÇüÀ» ¿¬½ÀÇغ¸·Á°í ÇÕ´Ï´Ù.
8ÀÏÂ÷ ¿Ï·á!!
¡Ø ÇØÄ¿½ºÀâÀ¸·ÎºÎÅÍ ÀΰÀ» Á¦°ø¹Þ¾Æ ÀÛ¼ºµÈ ÈıâÀÔ´Ï´Ù. ¡Ø ÇØ´ç Èıâ´Â ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT+¹ÝµµÃ¼ ºý¼¾½ºÅ͵𸦠ÅëÇØ ¼öÁýµÈ ÈıâÀÔ´Ï´Ù.