¿­±â Æйи®»çÀÌÆ®

[5ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º ½ºÅ͵ð·Î »ï¼ºÀüÀÚ ÃëÁØÇÕ´Ï´Ù!

| Á¶È¸ 4203 |

[GAST]

13¹ø Á¶°ÇÃ߸® ÆÄÆ®´Â ½ÇÀü¿¡¼­ ¹®Á¦¸¦ Ç® ¶§ °æ¿ìÀÇ ¼ö°¡ ´Ù¾çÇؼ­ ¿À·¡ °É·È½À´Ï´Ù.

ÇÏÁö¸¸ °­ÀÇ¿¡¼­¿Í °°ÀÌ, ÀÚ¸®¸¦ ¹Ù²Ü ¼ö ÀÖ´Â Ç׸ñÀº °°Àº µµÇüÀ¸·Î ³ªÅ¸³ÂÀ» ¶§, ÈξÀ ÀûÀº Ç¥·Î ´Ù¾çÇÑ °æ¿ì¸¦ ÇÑ´«¿¡ ºñ±³ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù. A, B´Â °°Àº Çà¿¡ ÁÖÂ÷ÇÑ´ÙÀÇ °æ¿ì, A¿Í B¸¦ µ¿±×¶ó¹Ì·Î ³ªÅ¸³½ °ÍÀÔ´Ï´Ù. ±×·¸°Ô ÇÏ¿© °æ¿ìÀÇ ¼ö°¡ ¸î°³°¡ µÇ´ÂÁö ÆÇ´ÜÇÒ ¶§, Ç¥ 2°³ * µ¿±×¶ó¹Ì ¹®ÀÚ 2Á¾·ù * ¼¼¸ð ¹®ÀÚ 2Á¾·ù·Î 8°³ÀÓÀ» ½±°Ô ±¸ÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.

14¹ø ¹®Á¦¿¡¼­, ¸®±× ½ÄÀ¸·Î ÁÖ¾îÁø ¹®Á¦´Â x*x ÇàÀ¸·Î ½Â/ÆÐ ´ëĪ ¸ð¾çÀÇ Ç¥·Î ³ªÅ¸³»´Â °ÍÀÌ ÈξÀ º¸±â ÆíÇÏ´Ù´Â °ÍÀ» »õ·Î ¾Ë°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.




[¹ÝµµÃ¼]

(1) MOSFET ±¸Á¶¿Í Band diagram ¼³¸íÇÏ´Â ¸éÁ¢ ±âÃâ

energy bandÀÇ °æ¿ì Gate-Oxide-Semiconductor ¼öÁ÷ ±¸Á¶¸¦ ¼³¸íÇÕ´Ï´Ù.

(2) MOSFET Ư¼º ÀúÇÏ

¿øÀÎÀ¸·Î trap, TDDB°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù.

trap: carrier°¡ oxide ³»ºÎ³ª oxide-semiconductor °æ°è defect¿¡ °íÁ¤µÇ´Â Çö»óÀÔ´Ï´Ù.

TDDB(Time Dependent Dielectric Breakdown): Åͳθµ¿¡ ÀÇÇØ ¿¡³ÊÁö ÁØÀ§°¡ ³ôÀº oxide¸¦ carrier°¡ Åë°úÇÕ´Ï´Ù. Àü±âÀå¿¡ ÀÇÇØ SiO2ÀÇ energy band°¡ tilt µÇ¾î ¾ã¾ÆÁø ¿¡³ÊÁö À庮À» Åë°úÇÕ´Ï´Ù.

(3) Short channel effect ¿øÀΰú ÇØ°á ¹æ¾È

short channel effect´Â channel ±æÀÌ°¡ ª¾ÆÁü¿¡ µû¶ó »ý±â´Â ¸ðµç Çö»óÀÔ´Ï´Ù.

¹®Á¦ 1) channel ±æÀÌ°¡ ªÀ¸¸é source ¹× drainÀÇ depletion regionÀÌ Â÷ÁöÇÏ´Â ºñÁßÀÌ ³Ð¾îÁö±â ¶§¹®¿¡ Vth°¡ °¨¼ÒÇÕ´Ï´Ù.

ÇØ°á¹æ¾È 1) source¿Í body »çÀÌ À½Àü¾ÐÀ» °¡ÇØ Body effect·Î¼­ Vth Á¶ÀýÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.

¹®Á¦ 2) Hot carrier effect: depletion regionÀÌ Âª¾ÆÁü¿¡ µû¶ó Àü±âÀåÀÌ °­ÇØÁö°í, electronsÀÌ °¡¼ÓÇÏ¿© EHP¸¦ ¹ß»ý½Ãŵ´Ï´Ù.

ÇØ°á¹æ¾È 2) source ¹× drain¿Í ¸¸³ª´Â substrate¸¦ LDDÇÏ¿© depletion regionÀ» ³ÐÈü´Ï´Ù.

¹®Á¦ 3) DIBL(Drain Induced Barrier Lowering): drain Á¢¾Ð¿¡ ÀÇÇØ source¿Í channel »çÀÌ potential barrier°¡ ³·¾ÆÁö´Â Çö»óÀÔ´Ï´Ù.

ÇØ°á¹æ¾È 3) Halo Doping: n+ source/drain, n- LDD¿Í ±ÙÁ¢ÇÑ p- substrate ºÎºÐÀ» ´õ ³ôÀº ³óµµÀÎ p·Î dopingÇÏ¿© depletion regionÀ» ÁÙÀÔ´Ï´Ù.

¹®Á¦ 4) Punch-through: source¿Í drainÀÇ depletion regionÀÌ ¸¶ÁÖÄ¡´Â Çö»óÀÔ´Ï´Ù.

ÇØ°á¹æ¾È 4) 3°ú µ¿ÀÏÇÕ´Ï´Ù.

(4) HKMG(High-k metal gate)

µµÀÔ ¹è°æ: °øÁ¤ ¹Ì¼¼È­ - oxide ¸éÀû °¨¼Ò - Capacitance À¯Áö À§ÇØ µÎ²² °¨¼Ò - Åͳθµ È¿°ú ´Ã¾î³ª¼­ leakage current Áõ°¡: ³ôÀº À¯ÀüÀ² k¸¦ °¡Áø ¹°ÁúÀ» ÇÊ¿ä·Î ÇÏ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.

high-k ¹°Áú·Î HfO2¿Í ZrO2°¡ »ç¿ëµË´Ï´Ù.

±âÁ¸ MOSFET´Â SiO2¿Í degenerated polysiliconÀÌ ¼öÁ÷À¸·Î gate¸¦ Çü¼ºÇßÀ¸³ª, HKMG´Â HfO2¿Í Metal·Î gate¸¦ ¸¸µì´Ï´Ù.

(5) finFET

short channel effect¸¦ ÇØ°áÇϱâ À§Çؼ­ °í¾ÈµÇ¾ú½À´Ï´Ù. channelÀ» 3¸éÀ¸·Î Çü¼ºÇÏ¿© Vth Á¶ÀýÀ» ¿ëÀÌÇÏ°Ô ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

´Ù¾çÇÑ ¹®Á¦°¡ Àִµ¥, °øÁ¤ÀÌ º¹ÀâÇÏ¿© ¹Ì¼¼ °áÇÔÀÌ È®´ëµÉ ¼ö ÀÖ°í, °¢ channel Á¢Çո鸶´Ù Vth°¡ ´Þ¶ó Àü·ù Ư¼º¿¡ ¿µÇâÀ» Áֱ⵵ ÇÕ´Ï´Ù. ¶Ç, Source¿Í DrainÀÇ ´Ü¸éÀûÀÌ °¨¼ÒÇÏ¿© ÀúÇ× ¶ÇÇÑ Áõ°¡ÇÕ´Ï´Ù.

(6) MOSCAP

source, drainÀÌ ¾ø´Â MOSFET ¸ð¾çÀÔ´Ï´Ù.

MOSFET°ú´Â ´Þ¸® accumulation¿¡¼­µµ µ¿ÀÛÇÏ¿© ±³·ù¿¡¼­µµ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

Àü°øÀ» °øºÎÇϸç MOSFET¸¸ ¿À·¡ °øºÎÇ߾, HKMG¿Í finFET, MOSCAPÀÌ »ý¼ÒÇß½À´Ï´Ù. °£°áÇÏ°Ô ¾Ë°Ô µÇ¾î ±âº» ƲÀ» ÀâÀ» ¼ö ÀÖ¾ú°í, Á¶±Ý ´õ ÀÚ¼¼ÇÑ ³»¿ëÀ» µû·Î ¹è¿ö ¿Ïº®ÇÑ ÀÌÇظ¦ ÇØ¾ß ÇÒ °Í °°½À´Ï´Ù.

ÇØ´ç °Ô½Ã±ÛÀÇ ÀúÀÛ±ÇÀº ÀÛ¼ºÀÚ¿Í ÇØÄ¿½º°ø±â¾÷ »çÀÌÆ®¿¡ ÀÖÀ¸¸ç, ÇØÄ¿½º°ø±â¾÷¿¡¼­ Á¦ÀÛÇÏ´Â ÀÚ·á µî¿¡ È°¿ë µÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ¹«´Ü µµ¿ë ¹× ÆÛ°¡±â¸¦ ±ÝÁöÇÕ´Ï´Ù.
±Û¾²±â
¼ö°­Èıâ
¼±»ý´Ô Á¦¸ñ °­ÀǸ¸Á·µµ Á¶È¸¼ö
[ÀÎÀû¼º] [5ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º°­ÀÇ ÃëÁØ ¼º°øÇϱâ! º°Á¡ 4945
[ÀÎÀû¼º] [4ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º °­Àǵè°í ÃëÁØ ¼º°øÇϱ⠺°Á¡ 3930
[ÀÎÀû¼º] [3ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º°­ÀÇ ÃëÁØ ¼º°øÇϱ⠺°Á¡ 4295
[ÀÎÀû¼º] [2ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½º GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2Áֿϼº ºý¼¾½ºÅ͵𠿭°ø ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4241
[ÀÎÀû¼º] [1ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½º GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2Áֿϼº ºý¼¾½ºÅ͵𠺰Á¡ 4470
[ÀÎÀû¼º] [10ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT·Î »ï¼º Ãë»Ç ¼º°øÇϱâ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4202
[ÀÎÀû¼º] [9ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT·Î »ï¼º Ãë¾÷ ´ëºñÇϱâ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4321
[ÀÎÀû¼º] [8ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT·Î ¹ÝµµÃ¼ Ãë¾÷ ¼º°øÇϱâ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4461
[ÀÎÀû¼º] [7ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSATÀ¸·Î »ï¼º Ãë¾÷¹® ¶Õ±â ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4144
[ÀÎÀû¼º] [6ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT Àΰ­ µè°í Ãë»Ç¸ñÇ¥·Î ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 3278
[ÀÎÀû¼º] [5ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSATÀ¸·Î »ï¼ºÃ¤¿ë ¿Ïº®´ëºñ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4538
[ÀÎÀû¼º] [4ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT µè°í »ï¼º Ãë»ÇÇϱâ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4239
[ÀÎÀû¼º] [3ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT µè°í »ï¼º ´Ü´ÜÇÏ°Ô Áغñ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4820
[ÀÎÀû¼º] [2ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT·Î »ï¼ºÃ¤¿ë ÁغñÇÏ°Ú½À´Ï´Ù. ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 3950
[ÀÎÀû¼º] [1ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT ¼ö°­ÇÏ°í »ï¼º Ãë»ÇÇÏÀÚ! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4121
[ÀÎÀû¼º] [10ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º ½ºÅ͵ð·Î »ï¼ºÀüÀÚ Ãë¾÷ ÁغñÇÕ´Ï´Ù! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4996
[ÀÎÀû¼º] [9ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º ½ºÅ͵ð·Î »ï¼ºÀüÀÚ Ãë¾÷ ÁغñÇÕ´Ï´Ù! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4509
[ÀÎÀû¼º] [8ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º ½ºÅ͵ð·Î »ï¼ºÀüÀÚ Ãë¾÷ ÁغñÇÕ´Ï´Ù! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 3862
[ÀÎÀû¼º] [7ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º ½ºÅ͵ð·Î »ï¼ºÀüÀÚ Ãë¾÷ ÁغñÇÕ´Ï´Ù! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4616
[ÀÎÀû¼º] [6ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º ½ºÅ͵ð·Î »ï¼ºÀüÀÚ Ãë¾÷ ÁغñÇÕ´Ï´Ù! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 3520