¿­±â Æйи®»çÀÌÆ®

[6ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º ½ºÅ͵ð·Î »ï¼ºÀüÀÚ Ãë¾÷ ÁغñÇÕ´Ï´Ù!

| Á¶È¸ 3519 |

[GSAT]

Àü¹ÝÀûÀ¸·Î ÀÌÀü¿¡ µè´ø °­ÀÇ¿Í µ¿ÀÏÇÑ ³»¿ëÀ̾ú½À´Ï´Ù.

1¹ø ÀÀ¿ë¼ö¸® ¹®Á¦ÀÇ °æ¿ì, °æ¿ìÀÇ ¼ö¸¦ °í·ÁÇÏ´Â °úÁ¤¿¡¼­ °­ÀÇ¿¡¼­Ã³·³ ¸ðµç °æ¿ì¸¦ °í·ÁÇÏ´Â °Í º¸´Ü, »ó°ü ¾ø´Â °æ¿ì¸¦ ¹èÁ¦ÇÏ´Â °ÍÀÌ´õ È¿À²ÀûÀÎ °Í °°½À´Ï´Ù. ´ë¸®¿Í ¿©ÀÚ »ç¿øÀÌ ¾î¶² ÆÀ¿¡ ¹èÁ¤µÇµç °£¿¡, ºÎÀåÀÌ ¾î¶² Á÷±Þ°ú °°Àº ÆÀÀ» ÀÌ·ç´Â Áö¸¸ °í·ÁÇÏ´Â °ÍÀÌ ½Ã°£ ´ÜÃà¿¡ µµ¿òÀÌ µÇ¾ú½À´Ï´Ù.

ÀÚ·áÇؼ® ¹®Á¦´Â ƯÈ÷ ºü¸£°Ô ½¬¿î ¹®Ç׺ÎÅÍ ¼Ô¾Æ³»´Â °ÍÀÌ Áß¿äÇÑ °ÍÀ» ´õ ´À²¼½À´Ï´Ù. Áõ°¨ÃßÀÌ/¼øÀ§ÀÇ ¹®Á¦°¡ °¡Àå ½±°Ô ãÀ» ¼ö ÀÖ°í, ´Ü¼ø Â÷ÀÌ°¡ ±× ´ÙÀ½ ¼ø¼­ÀÎ °Í °°½À´Ï´Ù. º¹ÀâÇÑ ¼ýÀÚÀÇ °öÇϱâ, ³ª´©±â´Â ÃÖÈļøÀ§ ÀÔ´Ï´Ù. ÇÏÁö¸¸ 10%, 20%, 1%¿Í °°Àº °£´ÜÇÑ °ªµéÀº »¡¸® °è»êÇÒ ¼ö À־ ³Ñ¾î°¡Áö ¾Ê´Â °Ô ÁÁÀ» °Í °°½À´Ï´Ù.

8¹ø ¹®Á¦¿¡¼­ ¹®Ç× c°¡ »ý·«µµ ¾ÈµÇ°í °è»ê¿¡ ¿À·¡ °É·È½À´Ï´Ù. ÇÏÁö¸¸ °­ÀÇ¿¡¼­¿Í °°ÀÌ °¡Áß Æò±ÕÀ¸·Î Ǫ´Ï º¸´Ù ºü¸£°Ô, º¹ÀâÇÑ °è»ê ¾øÀÌ ´äÀ» ±¸ÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. °¡ÁßÆò±ÕÀÌ ¸¹ÀÌ À¯¿ëÇÑ °Í °°½À´Ï´Ù.




[¹ÝµµÃ¼]

8´ë °øÁ¤¿¡ °üÇØ ´ë·«ÀûÀ¸·Î ¹è¿ü½À´Ï´Ù.

1. ¿þÀÌÆÛ »ý»ê

-chzochralski: »ý»ê·® ÁÁ¾Æ¼­ ÁÖ¿ä »ç¿ë

-floating zone: ¼øµµ ³ôÀº ¿þÀÌÆÛ »ý»ê °¡´É

2. oxidation: »êÈ­¹Ú¸·Ãþ »ý¼º

-wet oxidation: H2O »ç¿ë. Si wafer·Î È®»ê ¼Óµµ°¡ »¡¶ó, °øÁ¤ ¼Óµµ°¡ ºü¸§

-dry oxidation: O2 »ç¿ë. È®»ê ¼Óµµ°¡ ´À·Á¼­ °øÁ¤ ¼Óµµ ´À¸². ÇÏÁö¸¸ Ç°ÁúÀÌ ´õ ÁÁÀ½

3. photolithography : photo mask patterning

4. etching: ºÒÇÊ¿äÇÑ ºÎºÐ Á¦°Å

wet etchingÀº Ç¥¸éÀå·Â ¶§¹®¿¡ Á¤È®µµ°¡ ³·À½

5. deposition

¾ãÀº ¸· Çü¼º. ion implantationÀÇ °æ¿ì ¹Ðµµ¸¦ Á¶ÀýÇÏ¿© ÁÖÀÔ °¡´ÉÇÔ. ÇÏÁö¸¸ wafer °ÝÀÚ±¸Á¶°¡ Æı«µÇ¹Ç·Î ÈÄ¿¡ °í¿Â¿¡¼­ Àç°áÁ¤È­ ½ÃÄÑ¾ß ÇÔ

6. metalization: Àü±â ¹è¼±

7. EDS(test): wafer level¿¡¼­ °Ë»çÇÏ°í, repair °¡´É ¿©ºÎ¸¦ ÆÇ´ÜÇÏ¿© °¡´É ½Ã repair

8. packaging: ¼ÒÀÚ Æ÷Àå

+) CMP: wafer Ç¥¸éÀÇ ¹Ú¸· Æòźȭ (photoresist Á¦°Å)

ÀÌÀü °­ÀÇ¿Í °ãÄ¡´Â ³»¿ëÀÌ ¸¹¾Ò½À´Ï´Ù. ±×¸¸Å­ ±âº»ÀûÀÌ°í Áß¿äÇÑ ºÎºÐÀ̶ó°í »ý°¢ÇÏ¿©, ³õÄ£ ºÎºÐÀº ¾ø´ÂÁö Á» ´õ ²Ä²ÄÈ÷ µé¾ú´ø °Í °°½À´Ï´Ù. ÀÌÈÄ °øÁ¤¿¡ ´ëÇØ ´õ ¼¼ºÎÀûÀ¸·Î ¹è¿ì¸ç ¸Ó¸®¼Ó¿¡ °³³äÀ» ü°èÀûÀ¸·Î Çü¼ºÇÏ°í ½Í½À´Ï´Ù.

ÇØ´ç °Ô½Ã±ÛÀÇ ÀúÀÛ±ÇÀº ÀÛ¼ºÀÚ¿Í ÇØÄ¿½º°ø±â¾÷ »çÀÌÆ®¿¡ ÀÖÀ¸¸ç, ÇØÄ¿½º°ø±â¾÷¿¡¼­ Á¦ÀÛÇÏ´Â ÀÚ·á µî¿¡ È°¿ë µÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ¹«´Ü µµ¿ë ¹× ÆÛ°¡±â¸¦ ±ÝÁöÇÕ´Ï´Ù.
±Û¾²±â
¼ö°­Èıâ
¼±»ý´Ô Á¦¸ñ °­ÀǸ¸Á·µµ Á¶È¸¼ö
[ÀÎÀû¼º] [5ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º°­ÀÇ ÃëÁØ ¼º°øÇϱâ! º°Á¡ 4945
[ÀÎÀû¼º] [4ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º °­Àǵè°í ÃëÁØ ¼º°øÇϱ⠺°Á¡ 3930
[ÀÎÀû¼º] [3ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º°­ÀÇ ÃëÁØ ¼º°øÇϱ⠺°Á¡ 4294
[ÀÎÀû¼º] [2ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½º GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2Áֿϼº ºý¼¾½ºÅ͵𠿭°ø ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4241
[ÀÎÀû¼º] [1ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½º GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2Áֿϼº ºý¼¾½ºÅ͵𠺰Á¡ 4470
[ÀÎÀû¼º] [10ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT·Î »ï¼º Ãë»Ç ¼º°øÇϱâ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4201
[ÀÎÀû¼º] [9ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT·Î »ï¼º Ãë¾÷ ´ëºñÇϱâ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4320
[ÀÎÀû¼º] [8ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT·Î ¹ÝµµÃ¼ Ãë¾÷ ¼º°øÇϱâ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4461
[ÀÎÀû¼º] [7ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSATÀ¸·Î »ï¼º Ãë¾÷¹® ¶Õ±â ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4144
[ÀÎÀû¼º] [6ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT Àΰ­ µè°í Ãë»Ç¸ñÇ¥·Î ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 3278
[ÀÎÀû¼º] [5ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSATÀ¸·Î »ï¼ºÃ¤¿ë ¿Ïº®´ëºñ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4538
[ÀÎÀû¼º] [4ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT µè°í »ï¼º Ãë»ÇÇϱâ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4239
[ÀÎÀû¼º] [3ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT µè°í »ï¼º ´Ü´ÜÇÏ°Ô Áغñ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4820
[ÀÎÀû¼º] [2ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT·Î »ï¼ºÃ¤¿ë ÁغñÇÏ°Ú½À´Ï´Ù. ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 3950
[ÀÎÀû¼º] [1ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT ¼ö°­ÇÏ°í »ï¼º Ãë»ÇÇÏÀÚ! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4121
[ÀÎÀû¼º] [10ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º ½ºÅ͵ð·Î »ï¼ºÀüÀÚ Ãë¾÷ ÁغñÇÕ´Ï´Ù! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4996
[ÀÎÀû¼º] [9ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º ½ºÅ͵ð·Î »ï¼ºÀüÀÚ Ãë¾÷ ÁغñÇÕ´Ï´Ù! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4509
[ÀÎÀû¼º] [8ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º ½ºÅ͵ð·Î »ï¼ºÀüÀÚ Ãë¾÷ ÁغñÇÕ´Ï´Ù! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 3862
[ÀÎÀû¼º] [7ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º ½ºÅ͵ð·Î »ï¼ºÀüÀÚ Ãë¾÷ ÁغñÇÕ´Ï´Ù! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4615
[ÀÎÀû¼º] [6ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º ½ºÅ͵ð·Î »ï¼ºÀüÀÚ Ãë¾÷ ÁغñÇÕ´Ï´Ù! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 3520