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[9일차] 해커스잡 GSAT로 삼성 취업 대비하기

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에칭에는 dry에칭과 wet에칭이 있다.

먼저 에칭의 주요인자로는 식각률, 선택비, 균일도가 존재한다.

dry에칭은 물리적 방법과 화학적 방법을 모두 이용하여 에칭하고 공정 설비는 진공으로 이루어진다. 장점은 anisotropy와 미세 패턴이 가능하다. 단점은 높은 비용과 느린 속도이고 낮은 선택비이다.

wet에칭은 화학적인 방법으로 에칭하고 공정 설비는 대기로 이루어진다. 장점은 낮은 비용과 빠른 속도이고 높은 선택비를 가지고 있다. 단점으로는 미세 패턴이 불가하며 오염이 가능하다.

플라즈마는 제 4의 물질이라고 불리며 기체 상태의 분자나 원자가 이온화 되어 양이온과 전자가 혼재되어 있어서 부분적으로는 극성을 띄지만, 전체적으로는 중성상태인 물질을 말한다.

발생 메커니즘은 열에니지가 아닌 전압을 가해서 플라즈마를 발생시고 종류는 DC를 이용하여 만드는 것과 AC를 이용하여 만드는 것이 존재한다.

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