¿­±â Æйи®»çÀÌÆ®

[7ÀÏÂ÷] ½ÇÀü¸ðÀÇ°í»ç 2ȸ+ photolithography °øÁ¤ ¼¼ºÎ³»¿ë Àΰ­µè°í Ãë¾÷Áغñ!!!

| Á¶È¸ 4068 |
[7ÀÏÂ÷]


7ÀÏÂ÷ °­ÀÇ ½ÃÀÛÀº 6ÀÏÂ÷¿¡ ÀÌ¾î ½ÇÀü¸ðÀÇ°í»ç 2ȸÂ÷ 8¹ø¹®Á¦ ºÎÅÍ Ç®À̸¦ ÇØÁּ̽À´Ï´Ù. Æò±Õ°è»êÇÏ´Â ¹®Á¦´Â °¡ÁßÆò±ÕÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© Ç®¸é ºü¸£°Ô Ç®¼öÀÖ´Ù°í ÇÏ¼Ì°í ¼ö¸®³í¸® ¹®Á¦¸¦ Ç®¶§ Ç×»ó ¸»¾¸ÇØÁ̴ּø °è»êÀÌ ½±°í Á¤È®ÇÏ°Ô Ç®¼öÀÖ´Â ¹®Ç׺ÎÅÍ Ç®°í ´Ù¸¥ ¹®Ç×À» Ç®¾î¾ß ÇÑ´Ù°í Çѹø ´õ ¾Ë·ÁÁּ̽À´Ï´Ù. ±×·¯³ª ¾ÆÁ÷ ½Ç·ÂÀÌ ºÎÁ·ÇÑÁö ºü¸£°Ô Ç®Áö´Â ¸øÇØ ´õ°øºÎÇؾ߰ڴٴ »ý°¢ÀÌ µé¾ú½À´Ï´Ù.

¹ÝµµÃ¼ °­ÀÇ´Â photolithography °­ÀÇ ¿´½À´Ï´Ù.

±èµ¿¹Î¼±»ý´ÔÀº 8´ë°øÁ¤ÀÇ ¿ä¾àÇÑ °úÁ¤ ¼³¸íÀ» ÇØÁֽðí photolithography °øÁ¤ÀÇ ¼¼ºÎÀûÀÎ ³»¿ëÀ» ¾Ë·ÁÁּ̽À´Ï´Ù.

photolithography´Â óÀ½ 8´ë°øÁ¤¿¡¼­ ¸Å¿ìÁß¿äÇÑ °øÁ¤À̶ó°í ¸»¾¸ÇØÁ̴ּµ¥ À̹ø °­ÀÇ¿¡¼­µµ photolithographyÀº ¸Å¿ìÁß¿äÇÑ °øÁ¤ÀÌ´Ï À߾˾Ƶζó°í Çϼ̽À´Ï´Ù. ¸éÁ¢¿¡¼­ photolithography¿¡ ´ëÇØ Áú¹®À̳ª¿À¸é photresist coating, soft baking, photo mask align, exposure, post exposure baking,developing, hard bakingÀ» ¼ø¼­´ë·Î Àû°í °¢°¢ÀÇ °úÁ¤À» °£·«ÇÏ°Ô Á¤È®ÇÏ°Ô ¼³¸íÇÏ°í ±¤¿øÀÇ ÁÖ¿äÀÎÀÚ·Î °øÁ¤¹Ì¼¼È­¸¦ °áÁ¤ÇÏ´Â ÀÎÀÚÀÎ DOF¿Í RES´Â ¹Ýµå½Ã ¼³¸íÇؾßÇÑ´Ù°í Çϼ̽À´Ï´Ù. ±×¸®°í DOF´Â Ŭ¼ö·Ï °øÁ¤¿¡ À¯¸®ÇÏ°í, RES´Â ÀÛÀ»¼ö·Ï À¯¸®ÇÏ´Ù°í ¸»¾¸ÇØ Áּ̽À´Ï´Ù.

ÇØ´ç °Ô½Ã±ÛÀÇ ÀúÀÛ±ÇÀº ÀÛ¼ºÀÚ¿Í ÇØÄ¿½º°ø±â¾÷ »çÀÌÆ®¿¡ ÀÖÀ¸¸ç, ÇØÄ¿½º°ø±â¾÷¿¡¼­ Á¦ÀÛÇÏ´Â ÀÚ·á µî¿¡ È°¿ë µÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ¹«´Ü µµ¿ë ¹× ÆÛ°¡±â¸¦ ±ÝÁöÇÕ´Ï´Ù.
±Û¾²±â
¼ö°­Èıâ
¼±»ý´Ô Á¦¸ñ °­ÀǸ¸Á·µµ Á¶È¸¼ö
[ÀÎÀû¼º] [5ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º ½ºÅ͵ð·Î »ï¼ºÀüÀÚ ÃëÁØÇÕ´Ï´Ù! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4203
[ÀÎÀû¼º] [4ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º ½ºÅ͵ð·Î »ï¼ºÀüÀÚ ÃëÁØÇÕ´Ï´Ù! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4154
[ÀÎÀû¼º] [3ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º ½ºÅ͵ð·Î »ï¼ºÀüÀÚ ÃëÁØÇÕ´Ï´Ù! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 3264
[ÀÎÀû¼º] [2ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º ½ºÅ͵ð·Î »ï¼ºÀüÀÚ ÃëÁØÇÕ´Ï´Ù! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 3713
[ÀÎÀû¼º] [1ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT+¹ÝµµÃ¼ 2Áֿϼº ½ºÅ͵ð·Î »ï¼º ä¿ë ÁغñÇմϴ٠÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 3904
[ÀÎÀû¼º] [10ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í Ãë¾÷ ÁغñÇϱâ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 3238
[ÀÎÀû¼º] [9ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í Ãë¾÷ ÁغñÇϱâ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 3675
[ÀÎÀû¼º] [8ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í Ãë¾÷ ÁغñÇϱ⠺°Á¡ 3967
[ÀÎÀû¼º] [7ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í Ãë¾÷ ÁغñÇϱ⠺°Á¡ 3795
[ÀÎÀû¼º] [6ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í Ãë¾÷ ÁغñÇϱ⠺°Á¡ 3916
±èµ¿¹Î [ÀÎÀû¼º] [5ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½º GSAT + ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í ÀÚ½ÅÀÖ°Ô ÇϹݱâ ÁغñÇϱâ !! º°Á¡ 3497
º¹ÁöÈÆ,±èµ¿¹Î [ÀÎÀû¼º] [4ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½º GSAT + ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í ÀÚ½ÅÀÖ°Ô ÇϹݱâ ÁغñÇϱâ !! »çÁø º°Á¡ 3485
¾ç¸®¶ó, ±èµ¿¹Î [ÀÎÀû¼º] [3ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½º GSAT + ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í ÀÚ½ÅÀÖ°Ô ÇϹݱâ ÁغñÇϱâ !! º°Á¡ 3852
¾ç¸®¶ó, ±èµ¿¹Î [ÀÎÀû¼º] [2ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½º GSAT + ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í ÀÚ½ÅÀÖ°Ô ÇϹݱâ ÁغñÇϱâ !! º°Á¡ 4024
¾ç¸®¶ó, ±èµ¿¹Î [ÀÎÀû¼º] [1ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½º GSAT + ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í ÀÚ½ÅÀÖ°Ô ÇϹݱâ ÁغñÇϱâ !! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 3401
[ÀÎÀû¼º] [10ÀÏÂ÷] ½ÇÀü¸ðÀÇ°í»ç 2ȸ+ memory ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í »ï¼º Ãë¾÷ ÁغñÇϱ⠺°Á¡ 4467
[ÀÎÀû¼º] [9ÀÏÂ÷] ½ÇÀü¸ðÀÇ°í»ç 2ȸ (Ã߸®)+Etching °øÁ¤ ¼¼ºÎ Àΰ­ µè°í »ï¼º Ãë¾÷ !!! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 3610
[ÀÎÀû¼º] [8ÀÏÂ÷] ½ÇÀü¸ðÀÇ°í»ç 2ȸ+ Deposition °øÁ¤ ¼¼ºÎ ³»¿ë µè°í Ãë¾÷ÁغñÇϱâ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4303
[ÀÎÀû¼º] [7ÀÏÂ÷] ½ÇÀü¸ðÀÇ°í»ç 2ȸ+ photolithography °øÁ¤ ¼¼ºÎ³»¿ë Àΰ­µè°í Ãë¾÷Áغñ!!! º°Á¡ 4069
[ÀÎÀû¼º] [6ÀÏÂ÷] ½ÇÀü¸ðÀÇ°í»ç 2ȸ + ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í Ãë¾÷ Áغñ!! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4384