¿­±â Æйи®»çÀÌÆ®

[3ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º ½ºÅ͵ð·Î »ï¼ºÀüÀÚ ÃëÁØÇÕ´Ï´Ù!

| Á¶È¸ 3266 |

[GSAT]

¿À´Ã ¹®Á¦¿¡¼­ ƯÈ÷ ¿ÇÀº °Í/ ¿ÇÁö ¾ÊÀº °ÍÀ» ¸ðµÎ °í¸£´Â ¹®Á¦°¡ ¸¹¾Ò´ø °Í °°½À´Ï´Ù.

Æò¼Ò¿¡ ¹®Á¦¸¦ Ç® ¶§´Â a~d ¼ø¼­´ë·Î Ç®´Ù°¡, À߸øµÈ ¼±Áö¸¦ Á¦¿ÜÇÏ´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î Ç®¾ú´Âµ¥, °­ÀÇ¿¡¼­´Â ´Ù¸£°Ô ¼³¸íÇϼ̽À´Ï´Ù. 4°¡Áö ¼±Åà ¼±Áö Áß Ç®±â ½¬¿î ¼ø¼­·Î ¼±ÅÃÁö¸¦ Á¦°ÅÇÏ¿´À» ¶§ ´õ¿í ¹®Á¦¸¦ »¡¸® Ç® ¼ö ÀÖ´Ü °ÍÀ» ¾Ë°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ½Ç½Ã°£À¸·Î ¹®Á¦¸¦ Ç® ¶§ ½Ã°£ÀÌ ¿À·¡ °É·È´ø ¼±Áö¸¦ ¾Æ¿¹ Á¦¿ÜÇÏ°í Ç® ¼ö ÀÖ¾î Á¤¸» ÁÁÀº ¹æ¹ýÀÎ °Í °°½À´Ï´Ù.

14¹øÀÇ °è»ê ¹®Á¦°¡ Á÷Á¢ Ç® ¶§ ½Ã°£ÀÌ ¿À·¡ °É·È½À´Ï´Ù. ÇÏÁö¸¸ °­ÀÇ¿¡¼­Ã³·³ Áõ°¡ÇÏ´Â ÀοøÀ» ¹ÌÁö¼ö x·Î µÎ°í 2x * 0.4 = 100À» ¹æÁ¤½ÄÀ¸·Î ¼¼¿ì´Ï, ¹®Á¦¸¦ ª°í °£°áÇÏ°Ô Ç® ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. ºÒÇÊ¿äÇÑ °è»ê °úÁ¤À» ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖµµ·Ï ¾ÕÀ¸·Î´Â °í¹ÎÀ» ¸¹ÀÌ ÇغÁ¾ß °Ú½À´Ï´Ù.



[¹ÝµµÃ¼]

¿À´ÃÀº ¹ÝµµÃ¼ 8´ë °øÁ¤¿¡ ´ëÇØ ¹è¿ü½À´Ï´Ù.

°øÁ¤ ¼ø¼­´Â

(1) wafer Á¦Á¶: ½Ç¸®ÄÜ IngotÀ» ¸¸µé°í Àý´ÜÇÏ°í Ç¥¸éÀ» ¿¬¸¶ÇÏ¿© wafer¸¦ »ý»êÇÕ´Ï´Ù.

ÁÖ·Î Czochralski ¹æ¹ýÀ» »ç¿ëÇϴµ¥, ½Ç¸®ÄÜ single °áÁ¤À» seed·Î ÇÏ¿© ¿ëÇØµÈ ½Ç¸®ÄÜ¿¡ ³Ö°í, ȸÀüÇϸç ingotÀ» ¸¸µé¾î ³À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¹æ¹ýÀº floating zone ¹æ¹ýº¸´Ù »ý»ê¼ºÀÌ ³ô½À´Ï´Ù.

(2) Oxidation

»êÈ­¹Ú¸·Ãþ SiO2¸¦ wafer Ç¥¸é¿¡ Çü¼ºÇÕ´Ï´Ù.

(3) Photolithography

wafer Ç¥¸é¿¡ photoresist ¿ë¾×À» µµÆ÷ÇÏ°í, ±× À§¿¡ mask¸¦ ´í ÈÄ UV¸¦ ÂؾîÁÝ´Ï´Ù. UV¸¦ ÂؾîÁØ ºÎºÐÀº °øÁ¤ ¹æ¹ý¿¡ µû¶ó ±»°Å³ª ³ì´Âµ¥, photoresist¸¦ ´Û¾Æ patternÀ» mask À§¿¡ ³ªÅ¸³À´Ï´Ù.

(4) Etching

photoresist°¡ µµÆ÷µÈ patternÀ» µû¶ó ºÒÇÊ¿äÇÑ ºÎºÐÀ» Á¦°ÅÇÕ´Ï´Ù.

(5-1) Thin film deposition

CVD, PVD¿Í °°Àº ÁõÂø ±â¼ú·Î ¾ãÀº ¸·À» Çü¼ºÇÏ´Â °øÁ¤ÀÔ´Ï´Ù.

(5-2) Ion implantation

ÀÌ¿ÂÀ» ÁÖÀÔÇÏ´Â °øÁ¤À¸·Î, injection°ú diffusion ¹æ¹ýÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù.

(6) Metalization

±Ý¼ÓÀ¸·Î ¿¬°á ȸ·Î¸¦ ¹è¼±ÇÏ´Â ÀÛ¾÷ÀÔ´Ï´Ù.

(7) EDS (Electrical Die Sorting)

waferÀÇ chip »óŸ¦ °Ë»çÇÕ´Ï´Ù.

¼öÀ² Yield = ¾çÇ° Chip ¼ö / Àüü Chip ¼ö * 100

(8) Packaging

¿ÜºÎ ȯ°æÀ¸·ÎºÎÅÍ º¸È£ÇÕ´Ï´Ù.

ÇØ´ç °Ô½Ã±ÛÀÇ ÀúÀÛ±ÇÀº ÀÛ¼ºÀÚ¿Í ÇØÄ¿½º°ø±â¾÷ »çÀÌÆ®¿¡ ÀÖÀ¸¸ç, ÇØÄ¿½º°ø±â¾÷¿¡¼­ Á¦ÀÛÇÏ´Â ÀÚ·á µî¿¡ È°¿ë µÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ¹«´Ü µµ¿ë ¹× ÆÛ°¡±â¸¦ ±ÝÁöÇÕ´Ï´Ù.
±Û¾²±â
¼ö°­Èıâ
¼±»ý´Ô Á¦¸ñ °­ÀǸ¸Á·µµ Á¶È¸¼ö
[ÀÎÀû¼º] [5ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º ½ºÅ͵ð·Î »ï¼ºÀüÀÚ ÃëÁØÇÕ´Ï´Ù! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4203
[ÀÎÀû¼º] [4ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º ½ºÅ͵ð·Î »ï¼ºÀüÀÚ ÃëÁØÇÕ´Ï´Ù! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4161
[ÀÎÀû¼º] [3ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º ½ºÅ͵ð·Î »ï¼ºÀüÀÚ ÃëÁØÇÕ´Ï´Ù! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 3267
[ÀÎÀû¼º] [2ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ 2ÁÖ ¿Ï¼º ½ºÅ͵ð·Î »ï¼ºÀüÀÚ ÃëÁØÇÕ´Ï´Ù! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 3714
[ÀÎÀû¼º] [1ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT+¹ÝµµÃ¼ 2Áֿϼº ½ºÅ͵ð·Î »ï¼º ä¿ë ÁغñÇմϴ٠÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 3906
[ÀÎÀû¼º] [10ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í Ãë¾÷ ÁغñÇϱâ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 3238
[ÀÎÀû¼º] [9ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í Ãë¾÷ ÁغñÇϱâ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 3677
[ÀÎÀû¼º] [8ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í Ãë¾÷ ÁغñÇϱ⠺°Á¡ 3968
[ÀÎÀû¼º] [7ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í Ãë¾÷ ÁغñÇϱ⠺°Á¡ 3795
[ÀÎÀû¼º] [6ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½ºÀâ GSAT + ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í Ãë¾÷ ÁغñÇϱ⠺°Á¡ 3917
±èµ¿¹Î [ÀÎÀû¼º] [5ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½º GSAT + ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í ÀÚ½ÅÀÖ°Ô ÇϹݱâ ÁغñÇϱâ !! º°Á¡ 3497
º¹ÁöÈÆ,±èµ¿¹Î [ÀÎÀû¼º] [4ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½º GSAT + ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í ÀÚ½ÅÀÖ°Ô ÇϹݱâ ÁغñÇϱâ !! »çÁø º°Á¡ 3487
¾ç¸®¶ó, ±èµ¿¹Î [ÀÎÀû¼º] [3ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½º GSAT + ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í ÀÚ½ÅÀÖ°Ô ÇϹݱâ ÁغñÇϱâ !! º°Á¡ 3852
¾ç¸®¶ó, ±èµ¿¹Î [ÀÎÀû¼º] [2ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½º GSAT + ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í ÀÚ½ÅÀÖ°Ô ÇϹݱâ ÁغñÇϱâ !! º°Á¡ 4025
¾ç¸®¶ó, ±èµ¿¹Î [ÀÎÀû¼º] [1ÀÏÂ÷] ÇØÄ¿½º GSAT + ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í ÀÚ½ÅÀÖ°Ô ÇϹݱâ ÁغñÇϱâ !! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 3401
[ÀÎÀû¼º] [10ÀÏÂ÷] ½ÇÀü¸ðÀÇ°í»ç 2ȸ+ memory ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í »ï¼º Ãë¾÷ ÁغñÇϱ⠺°Á¡ 4468
[ÀÎÀû¼º] [9ÀÏÂ÷] ½ÇÀü¸ðÀÇ°í»ç 2ȸ (Ã߸®)+Etching °øÁ¤ ¼¼ºÎ Àΰ­ µè°í »ï¼º Ãë¾÷ !!! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 3611
[ÀÎÀû¼º] [8ÀÏÂ÷] ½ÇÀü¸ðÀÇ°í»ç 2ȸ+ Deposition °øÁ¤ ¼¼ºÎ ³»¿ë µè°í Ãë¾÷ÁغñÇϱâ ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4304
[ÀÎÀû¼º] [7ÀÏÂ÷] ½ÇÀü¸ðÀÇ°í»ç 2ȸ+ photolithography °øÁ¤ ¼¼ºÎ³»¿ë Àΰ­µè°í Ãë¾÷Áغñ!!! º°Á¡ 4070
[ÀÎÀû¼º] [6ÀÏÂ÷] ½ÇÀü¸ðÀÇ°í»ç 2ȸ + ¹ÝµµÃ¼ Àΰ­ µè°í Ãë¾÷ Áغñ!! ÷ºÎÆÄÀÏ º°Á¡ 4385