ºý¼¾½ºÅ͵ð 5ÀÏÂ÷¿¡¼ Ãß·Ð ¹®Á¦¿Í µµÇü, ±âÈ£, Áö¹® ¹®Á¦¿¡ ´ëÇØ ¹è¿ï ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
11¹ø~13¹ø ¹®Á¦¿Í °°Àº ¹èÄ¡ ¹®Á¦´Â È®½ÇÈ÷ ÁÖ¾îÁø °ÍºÎÅÍ ¹èÄ¡ÇÑ ÈÄ ÀÌÈÄ ³²Àº Áö¹®µéÀ» °¡Á¤ÇÏ¿© Ç®¾î¾ß Çß½À´Ï´Ù. ¸î °¡Áö °æ¿ìÀÇ ¼ö¸¦ °¡Á¤ÇÏ´Â °úÁ¤¿¡¼ ³õÄ¡´Â °ÍÀÌ ¹ß»ýÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ±î´Ù·Î¿î ¹®Á¦µéÀ̾ú½À´Ï´Ù.
°ÀÇ¿¡¼ È®½ÇÇÏÁö ¾ÊÀº °ÍÀº µ¿±×¶ó¹Ì³ª, ³×¸ð °°Àº ¸ðÇüÀ¸·Î Ç¥½ÃÇÏ¿© Ç®ÀÌÇÏ¿´´Âµ¥ ÀÌ ¹æ¹ýÀ¸·Î ¸ðµç °æ¿ìÀÇ ¼ö¸¦ ³ªÅ¸³»Áö ¾Ê¾Æµµ ¾î´À Á¤µµ ¹®Á¦°¡ Ç®¸° °ÍÀ¸·Î º¸¾Æ ¸Å¿ì À¯¿ëÇÏ°Ô ¾µ ¼ö ÀÖÀ» °Å °°½À´Ï´Ù.
±×¸®°í µµÇü ¹®Á¦ÀÇ °æ¿ì ½Ã°£À» ¸¹ÀÌ ´ÜÃàÇØ¾ß ÇÏ´Â À¯ÇüÀÌÁö¸¸ ¿ÜºÎ ³»ºÎ µµÇüÀÇ Â÷ÀÌ¿Í È¸Àü, »ö ¹ÝÀü µî µûÁ®ºÁ¾ß ÇÒ °ÍÀÌ ¸¹¾Æ ½Ç¼ö°¡ ¹ß»ýÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù°í »ý°¢Çß½À´Ï´Ù.
¼³¸íÇØÁֽŠ¹æ¹ýÀÎ °¡·Î, ¼¼·Î¸¦ ¸ÕÀú »ý°¢Çغ¸°í µµÇüÀÇ ÀüüÀûÀÎ ¸ð½ÀÀÌ ¾Æ´Ñ µû·Î ºñ±³ÇÑ ÈÄ, º¸±â¿¡¼ Á¦°ÅÇØ ³ª°¡´Â ¹æ½ÄÀ» »ç¿ëÇغ¸¸ç ½Ã°£ ´ÜÃà ¿¬½ÀÀ» ÇØ¾ß ÇÒ °Å °°½À´Ï´Ù.
±âÈ£ÀÇ °æ¿ì À§ÀÇ »çÁøó·³ µµÇü ¹Ø¿¡ ±ÔÄ¢À» ½á³õ°í ºü¸£°Ô Ǫ´Â ¹æ¹ý¿¡ ´ëÇØ ¹è¿ï ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
±×¸®°í Áö¹® ¹®Á¦ÀÇ °æ¿ì Á¤È®ÇÑ µ¶Çط°ú ¼Óµµ°¡ Áß¿äÇÏ´Ù´Â »ý°¢ÀÌ µé°í Æò¼Ò¿¡ ´º½º¸¦ Àо¸ç ´ëºñÇØ¾ß ÇÒ °Í °°½À´Ï´Ù.
¹ÝµµÃ¼ÀÇ °ÀÇ¿¡¼´Â MOSFET¿¡ °üÇÑ ³»¿ëÀ» ¹è¿ï ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
MOSFETÀÇ ±âº»ÀûÀÎ ±¸Á¶¿Í ÀÌ»óÀûÀÎ »óÅ¿¡¼ÀÇ ¿¡³ÊÁö ¹êµå »óÅ¿¡ ´ëÇØ °øºÎÇÒ ¼ö ÀÖ¾úÀ¸¸ç, ¼ÒÀÚÀÇ ¹Ì¼¼È¿¡ µû¸¥ ¿©·¯ °¡Áö ¹®Á¦Á¡¿¡ ´ëÇØ ¹è¿ï ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. ƯÈ÷, DegradationÀ̳ª ´Ü ä³Î Çö»ó, ÆÝÄ¡ ½º·ç¿Í °°Àº Áß¿äÇÑ ¹®Á¦Á¡ÀÇ ¿øÀΰú ÇØ°á ¹æ¹ý¿¡ ´ëÇØ ¹è¿öº¸¾Ò°í »õ·Î¿î ÇØ°á ¹æ¹ýÀÎ HKMG¿Í FinFetÀÇ Æ¯Â¡°ú ÀÚ¼¼ÇÑ ±¸Á¶¿¡ ´ëÇØ ¹è¿öº½À¸·Î½á ¹ÝµµÃ¼ ¸éÁ¢¿¡¼ ÀÚÁÖ ³ª¿À´Â Áú¹®¿¡ ´ëÇØ ´ëºñÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °Å °°½À´Ï´Ù.