빡센 스터디 7일차에서 평균 계산과 다중 지문에 대해 배웠었습니다
8번 문제에서 평균을 구할 때 일일이 계산해서 답을 구했었습니다,
하지만, 양리라 선생님께서 다른 방법으로 풀이를 해주셨는데 다음과 같습니다.
분모를 100과 가깝게 해서 평균을 구하는 방법인데 직접 계산하는 것보다 훨씬 편리해 보입니다. 나중에 평균 문제가 나올 때 적용해보면 괜찮을 거 같습니다.
또한, 12번 같은 문제에서 시간을 많이 잡아먹었는데 보기를 읽고 뭔 소리인지 몰라서 답을 찾는 데 애를 먹었습니다. GSAT이 온라인으로 바뀌면서 책보다 답을 찾아가기 힘들어졌는데 지문을 이해하고 푸는 연습을 해둬야 할 거 같습니다.
이번 반도체 강의에서는 반도체 공정에서 중요한 포토 공정에 관해 공부했습니다.
PR 코팅 → 소프트 베이킹 → 마스크 정렬 → 노광 → 노광 후 베이킹 → 현상 → 하드 베이킹 순서로 이루어 지며
노광 과정에서 가장 중요한 요소인 초점 심도와 분해능에 대해 배울 수 있었습니다.
노광과 분해능은 한쪽이 향상되면 다른 쪽이 저하되는 관계가 되는데 이를 극복하기 위해 짧은 파장과 큰 렌즈를 사용하여 분해능을 향상하고, 대신에 CMP와 PR 두께를 감소시켜 초점 심도를 보완해 주고 있습니다.
미세화 방법으로 Immersion 방법과 OAI, OPC, PSM 그리고 더블 패터닝 등 여러 방법이 있고, 하드 베이킹을 끝으로 후속 공정이 이루어집니다.
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